抗冲击耐高温微加速度传感器设计

徐春晓; 房立清; 周新伟

doi:10.13873/j.1000-97872009.03.034

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抗冲击耐高温微加速度传感器设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 抗冲击耐高温微加速度传感器设计
- Design of micro-acceleration sensor with impact resistance and high-temperature resistance
- 传感器与微系统 2009年28卷第3期页码：73-76
- 作者机构：
  
  1. 军械工程学院火炮工程系
  2. 71345部队
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872009.03.034
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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[1]徐春晓,房立清,周新伟.抗冲击耐高温微加速度传感器设计[J].传感器与微系统,2009,28(03):73-76.

XU Chun-xiao1, FANG Li-qing1, ZHOU Xin-wei1. Design of micro-acceleration sensor with impact resistance and high-temperature resistance[J]. 2009, 28(3): 73-76.
[1]徐春晓,房立清,周新伟.抗冲击耐高温微加速度传感器设计[J].传感器与微系统,2009,28(03):73-76. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.03.034.

XU Chun-xiao1, FANG Li-qing1, ZHOU Xin-wei1. Design of micro-acceleration sensor with impact resistance and high-temperature resistance[J]. 2009, 28(3): 73-76. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.03.034.

摘要

设计了一种耐高温（400℃）、抗过载（20000gn）的SOI微加速度传感器的结构

介绍了传感器的制作工艺

并应用ANSYS软件对其进行了仿真

讨论了传感器的量程、抗冲击能力、灵敏度、横向灵敏度、线性度等各项指标

证明该微传感器满足了设计时所提出的要求。

Abstract

A sort of SOI micro-acceleration sensor which can endure high temperature（400 ℃） and overload（20 000 gn）are designed

the manufacture and technique of its are introduced

emulation is carried on applying ANSYS.The range

ability to endure impact

sensitivity

sensitivity of landscape orientation

linearity of the sensor are discussed

the results prove the sensor can satisfy the request which is put forward when being designed.

关键词

Keywords

references

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