三轴压阻式传感器横向效应的研究

续晋峰; 张志杰

doi:10.13873/j.1000-97872009.03.018

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三轴压阻式传感器横向效应的研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 三轴压阻式传感器横向效应的研究
- Research on transverse effect of three axis piezoresistive accelerometer
- 传感器与微系统 2009年28卷第3期页码：33-35
- 作者机构：
  
  中北大学通信与信息工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872009.03.018
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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[1]续晋峰,张志杰.三轴压阻式传感器横向效应的研究[J].传感器与微系统,2009,28(03):33-35.

XU Jin-feng, ZHANG Zhi-jie. Research on transverse effect of three axis piezoresistive accelerometer[J]. 2009, 28(3): 33-35.
[1]续晋峰,张志杰.三轴压阻式传感器横向效应的研究[J].传感器与微系统,2009,28(03):33-35. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.03.018.

XU Jin-feng, ZHANG Zhi-jie. Research on transverse effect of three axis piezoresistive accelerometer[J]. 2009, 28(3): 33-35. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.03.018.

摘要

研究了霍普金斯杆冲击方法和自由落体冲击方法检测高量程微机械三轴压阻式传感器的横向效应

即分别在x轴、y轴的正向或负向作主轴时

检测三轴压阻式传感器其他2个方向感受到的g值大小和方向。依据结构设计分析应该没有横向效应

然而

在实验的测量中都得出大的横向效应

尤其是在z轴作为横向输出轴时得到较大的横向效应

而x

y轴作为横向输出轴时横向效应相对较小。试验结果表明:一定的主轴输出脉冲方向确定一定的横向输出轴的脉冲方向。

Abstract

The Hopkinson bar method and free-drop method detected high-range three-axis MEMS sensor’s transverse effect are studied.Considering positive or negative X-axis

Y-axis as the axial shaft

the acceleration size and direction of the sensor’s other two axis are detected.Based on analysis of structural design

there is no transverse effect.But large transverse effect is got in the experiment measurement.Especially considering the z-axis as the horizontal output shaft

obvious horizontal effect is obtained.Considering x-axis or y-axis as the horizontal axis

horizontal sensitivity is relatively small.The results show that certain direction of axial shaft’s output pulse can determin certain direction of horizontal shaft’s output pulse.

关键词

Keywords

references

压电加速度计横向灵敏度研究 [J]. 钟良,赵海云. 传感器技术 . 2003(12)

压阻式高量程微加速度计的冲击校准 [J]. 郇勇,张泰华,杨业敏,王钻开,陆德仁. 传感器技术 . 2003(11)

振动与冲击手册[M]. 国防工业出版社 , 《振动与冲击手册》编辑委员会编著, 1992

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