基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备

程吉凤; 丁桂甫; 姚锦元; 汪红; 刘瑞

doi:10.13873/j.1000-97872009.03.004

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备
- Fabrication of profiled microfiber spinneret based on UV-LIGA technology
- 传感器与微系统 2009年28卷第3期页码：58-60
- 作者机构：
  
  上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家“863”计划资助项目（2006AA04Z308,2006AA04Z326）
- DOI：10.13873/j.1000-97872009.03.004
  中图分类号： TG456.7
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]程吉凤,丁桂甫,姚锦元,汪红,刘瑞.基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备[J].传感器与微系统,2009,28(03):58-60.

CHENG Ji-feng, DING Gui-fu, YAO Jin-yuan, et al. Fabrication of profiled microfiber spinneret based on UV-LIGA technology[J]. 2009, 28(3): 58-60.
[1]程吉凤,丁桂甫,姚锦元,汪红,刘瑞.基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备[J].传感器与微系统,2009,28(03):58-60. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.03.004.

CHENG Ji-feng, DING Gui-fu, YAO Jin-yuan, et al. Fabrication of profiled microfiber spinneret based on UV-LIGA technology[J]. 2009, 28(3): 58-60. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.03.004.

摘要

为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状

采用紫外（UV）-LIGA技术和激光焊接的方法

初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用UV-LIGA技术电铸出不同孔形的喷丝头底板

并采用激光焊接技术实现底板和冲压外框的整体成型。实验结果表明:以UV-LIGA技术替代LIGA技术加工的喷丝头微孔侧壁光洁

截面形状多样

孔形均一性好

加工成本低廉。

Abstract

To product diversiform profiles of microfiber spinneret

application of UV-LIGA technique to fabricate profiles of microfiber are preliminarily discussed by UV-LIGA technique and laser welding technology.Spinneret plate is deposited by electrotyping method firstly

then the entire forming of spinneret is realized by using laser welding.The experiment results show that profiled microfiber spinneret has not only smooth surface of profiles

various and uniform section shapes

but also lower cost.

关键词

Keywords

references

电铸技术的发展及应用 [J]. 朱保国,王振龙. 电加工与模具 . 2006(05)

LIGA工艺中微电铸工艺研究 [J]. 马龙,周月豪,熊良才,柳海鹏,史铁林. 激光技术 . 2006(01)

纺丝工艺及截面形状对异形纤维性能的影响 [J]. 魏赛男,崔淑玲. 毛纺科技 . 2005(11)

提高湿法纺国产自制喷丝头的质量 [J]. 朱一音. 上海纺织科技 . 2000(06)

基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究[J]. 肖日松,杜立群,刘冲,刘海军,秦江. 高技术通讯. 2006 (04)

Ultra-deep LIGA process and its applications [J] . Y. Cheng,B.-Y. Shew,M.K. Chyu,P.H. Chen. Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A . 2001

Fabrication of photoplastic high-aspect ratio microparts and micromolds using SU-8 UV resist [J] . H. Lorenz,M. Despont,P. Vettiger,P. Renaud. Microsystem Technologies . 1998 (3)

浏览量

179

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

暂无数据