MEMS微型NO<sub>2</sub>气体传感器的研究

刘鑫

doi:10.13873/j.1000-97872009.02.032

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MEMS微型NO₂气体传感器的研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- MEMS微型NO₂气体传感器的研究
- Research on MEMS NO₂ micro gas sensor
- 传感器与微系统 2009年28卷第2期页码：48-49+52
- 作者机构：
  
  黑龙江科技学院计算机与信息工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872009.02.032
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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[1]刘鑫.MEMS微型NO_2气体传感器的研究[J].传感器与微系统,2009,28(02):48-49+52.

LIU Xin. Research on MEMS NO₂ micro gas sensor[J]. 2009, 28(2): 48-49+52.
[1]刘鑫.MEMS微型NO_2气体传感器的研究[J].传感器与微系统,2009,28(02):48-49+52. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.02.032.

LIU Xin. Research on MEMS NO₂ micro gas sensor[J]. 2009, 28(2): 48-49+52. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.02.032.

摘要

采用MEMS技术制作了硅基微型NO2气体传感器

选用高分子金属酞菁聚合物酞菁铜作为敏感膜

从半导体理论出发解释了酞菁铜的敏感机理。阐述了该传感器的结构与工艺流程

并测试了传感器的气敏特性、温度特性、响应时间和恢复时间等敏感特性。实验结果验证了酞菁铜对NO2气体的敏感性

该传感器可以检测到10-6量级的NO2气体

且响应时间快。

Abstract

The NO2 gas sensor on silicon substrate is fabricated by microelectronic mechanical system（MEMS） technology with CuPc as the thin film.The sensitive mechanism is explained from the semiconductor theory.The configuration and technological process of the sensor are described.The sensitivity

temperature characteristic

response and recovery time are tested.Experiment results confirm with the nitrogen dioxide-sensitive mechanism of the sensor

and the MEMS sensor can respond to the 10-6 level of NO2 and has short response time.

关键词

Keywords

references

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Research on MEMS NO2 micro gas sensor

DOI：10.13873/j.1000-97872009.02.032

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