谐振式微加速度计设计与加工误差分析

何高法; 唐一科; 何晓平; 吴英

doi:10.13873/j.1000-97872009.01.003

Chinese

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谐振式微加速度计设计与加工误差分析

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 谐振式微加速度计设计与加工误差分析
- Design of resonant micro accelerometer and analysis of fabricating error
- 传感器与微系统 2009年28卷第1期页码：10-12
- 作者机构：
  
  1. 重庆大学机械工程学院
  2. 重庆科技学院机械系
  3. 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872009.01.003
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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[1]何高法,唐一科,何晓平,吴英.谐振式微加速度计设计与加工误差分析[J].传感器与微系统,2009,28(01):10-12.

HE Gao-fa1, TANG Yi-ke1, HE Xiao-ping3, et al. Design of resonant micro accelerometer and analysis of fabricating error[J]. 2009, 28(1): 10-12.
[1]何高法,唐一科,何晓平,吴英.谐振式微加速度计设计与加工误差分析[J].传感器与微系统,2009,28(01):10-12. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.01.003.

HE Gao-fa1, TANG Yi-ke1, HE Xiao-ping3, et al. Design of resonant micro accelerometer and analysis of fabricating error[J]. 2009, 28(1): 10-12. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.01.003.

摘要

为提高谐振式微加速度计的灵敏度和精确度

设计了放大惯性力的柔性微杠杆机构

从理论上分析了微杠杆机构的不对称误差

设计了误差消除机构;经有限元仿真分析证明:所设计的机构能有效减小由不对称误差产生的横向力

有效地消除了放大机构不对称误差对谐振器的影响。分析了形状加工误差对加速度计性能的影响

为制作高灵敏度和高精确度加速度计提供了保障。

Abstract

In order to improve the sensitivity and accuracy of the resonant micro accelerometer

a flexible micro leverage for amplifying the inertia force and a structure for eliminating the errors are designed.These are based on analyzing the dissymmetry error in theory.The structure can decrease the lateral force brought by dissymmetrical structure in a great extent

and it is confirmed by FEM.It’s also analyzed that the effect of the sensitivity is brought by the form errors

so it can insure the fabrication of the accelerometer with higher sensitivity and accuracy.

关键词

Keywords

references

微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析 [J]. 何高法,唐一科,刘世明,何晓平. 传感技术学报 . 2007(07)

微惯性仪表[M]. 清华大学出版社 , 董景新等编著, 2003

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