一种用于微加速度计的低输入电容运算放大器

谭晓昀; 黄刚; 刘晓为

doi:10.13873/j.1000-97872008.12.011

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一种用于微加速度计的低输入电容运算放大器

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 一种用于微加速度计的低输入电容运算放大器
- Low input capacitance amplifier for accelerometer
- 传感器与微系统 2008年27卷第12期页码：76-78
- 作者机构：
  
  哈尔滨工业大学MEMS中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.12.011
  中图分类号： TN722.77
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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[1]谭晓昀,黄刚,刘晓为.一种用于微加速度计的低输入电容运算放大器[J].传感器与微系统,2008,27(12):76-78.

TAN Xiao-yun, HUANG Gang, LIU Xiao-wei. Low input capacitance amplifier for accelerometer[J]. 2008, 27(12): 76-78.
[1]谭晓昀,黄刚,刘晓为.一种用于微加速度计的低输入电容运算放大器[J].传感器与微系统,2008,27(12):76-78. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.12.011.

TAN Xiao-yun, HUANG Gang, LIU Xiao-wei. Low input capacitance amplifier for accelerometer[J]. 2008, 27(12): 76-78. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.12.011.

摘要

采用0.5μm CMOS工艺设计了一种低输入电容运算放大器。该运算放大器通过采用正反馈回路消除运算放大器输入管的密勒电容来实现低输入电容。分析了寄生电容对加速度计灵敏度的影响

并提出了一种采用低输入电容运算放大器的开环加速度计接口电路实现方法。结果表明:采用低输入电容运算放大器能够有效地提高加速度计灵敏度。

Abstract

A low input capacitance amplifier（LICA）is designed by using 0.5μm CMOS technology.The miller capacitor is cancelled by the positive feedback in the LICA.The influence of parasitic capacitance on sensitivity of accelerometer is analyzed

and a realization method of the interface circuit of open-loop accelerometer with LICA is presented.The simulation results demonstrate that using LICA is effective to improve the sensitivity of accelerometer.

关键词

Keywords

references

加速度传感器信号处理集成电路的研制 [J]. 蓝慕杰,刘晓为,陈伟平,刘亚春,王美,王东旺. 微纳电子技术 . 2003(Z1)

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