基于MEMS技术的气体传感器

李珂; 于世洁; 尤政; 赵嘉昊

doi:10.13873/j.1000-97872008.11.012

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基于MEMS技术的气体传感器

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 基于MEMS技术的气体传感器
- Gas sensor based on MEMS technology
- 传感器与微系统 2008年27卷第11期页码：5-7
- 作者机构：
  
  清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.11.012
  中图分类号： TP212.2
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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[1]李珂,于世洁,尤政,赵嘉昊.基于MEMS技术的气体传感器[J].传感器与微系统,2008,27(11):5-7.

LI Ke, YU Shi-jie, YOU Zheng, et al. Gas sensor based on MEMS technology[J]. 2008, 27(11): 5-7.
[1]李珂,于世洁,尤政,赵嘉昊.基于MEMS技术的气体传感器[J].传感器与微系统,2008,27(11):5-7. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.11.012.

LI Ke, YU Shi-jie, YOU Zheng, et al. Gas sensor based on MEMS technology[J]. 2008, 27(11): 5-7. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.11.012.

摘要

综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理

包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱（FAIMS）检测法。对各种传感器的特点进行了比较。

Abstract

The principles of gas sensors based on MEMS technology at home and abroad are summarized

which include resonate micro cantilever

SAW

conductor detect

photoacoustic spectroscopy

gas spectrum

catalytic combustion and FAIMS.The characteristics of all kinds of sensor are compared.

关键词

Keywords

references

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集成化MEMS工艺设计技术的研究 [J]. 张海霞,郭辉,张大成,徐嘉佳,郝一龙. 纳米技术与精密工程 . 2004(03)

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