微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展

高伟; 董瑛; 尤政

doi:10.13873/j.1000-97872008.11.011

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微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展
- Progress on micro cantilever resonant gas sensors
- 传感器与微系统 2008年27卷第11期页码：1-4
- 作者机构：
  
  清华大学精密仪器与机械学系
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（50605040）
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.11.011
  中图分类号： TP212.2
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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[1]高伟,董瑛,尤政.微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展[J].传感器与微系统,2008,27(11):1-4.

GAO Wei, DONY Ying, YOU Zheng. Progress on micro cantilever resonant gas sensors[J]. 2008, 27(11): 1-4.
[1]高伟,董瑛,尤政.微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展[J].传感器与微系统,2008,27(11):1-4. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.11.011.

GAO Wei, DONY Ying, YOU Zheng. Progress on micro cantilever resonant gas sensors[J]. 2008, 27(11): 1-4. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.11.011.

摘要

微机械谐振式传感器已经成为微型机电系统（MEMS）领域的研究热点。讨论了微悬臂梁谐振式气体传感器的工作原理

介绍微悬臂梁表面修饰的关键技术、主要方法和基于微悬臂梁的谐振式气体传感器领域的研究状况以及近五年以来该领域的研究进展

并对基于微悬臂梁的谐振式气体传感器的发展方向和应用前景做了展望。

Abstract

Micro mechanical resonant sensor is a research focus in MEMS field.The theoretical basis of micro cantilever resonant gas sensor is discussed and the key technologies and general methods of cantilever surface functionalization are introduced.The research status of micro cantilever resonant gas sensor and the research progress in the latest five years are provided.The future development trend and application prospect are forecasted.

关键词

Keywords

references

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