氧化铝薄膜湿度传感器湿度源装置设计

徐凌; 任先武; 周明军; 栾剑; 王朔

doi:10.13873/j.1000-97872008.10.037

Chinese

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氧化铝薄膜湿度传感器湿度源装置设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 氧化铝薄膜湿度传感器湿度源装置设计
- Design of humidity fountain equipment for alumina film humidity sensor
- 传感器与微系统 2008年27卷第10期页码：104-106
- 作者机构：
  
  1. 中国电子科技集团公司第四十九研究所
  2. 浙江大学控制系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.10.037
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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[1]徐凌,任先武,周明军,栾剑,王朔.氧化铝薄膜湿度传感器湿度源装置设计[J].传感器与微系统,2008,27(10):104-106.

XU Ling1, REN Xian-wu1, ZHOU Ming-jun1, et al. Design of humidity fountain equipment for alumina film humidity sensor[J]. 2008, 27(10): 104-106.
[1]徐凌,任先武,周明军,栾剑,王朔.氧化铝薄膜湿度传感器湿度源装置设计[J].传感器与微系统,2008,27(10):104-106. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.10.037.

XU Ling1, REN Xian-wu1, ZHOU Ming-jun1, et al. Design of humidity fountain equipment for alumina film humidity sensor[J]. 2008, 27(10): 104-106. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.10.037.

摘要

设计了测量氧化铝湿度传感器的湿度源装置

该装置由5个固体干燥剂湿度源单元组成。实验了露点9.3

33.5;9.3

65.2℃;-14.5

65.2℃;-65.2

14.5℃转换时的平衡时间特性

实验验证了湿度源单元的准确性。结果表明:露点-65.2

14.5℃转换时的平衡时间小于2 min

固体干燥剂湿度源装置可满足氧化铝湿度传感器实验测量需要。

Abstract

The equipment of humidity fountain of measuring alumina humidity sensor is designed

which is composed of five humidity fountain cells containing solid desiccant.Balance time characteristic is investigated from 9.3

33.5℃DP;9.3

65.2℃DP;-14.5

65.2℃DP;-65.2

14.5℃DP

and the veracity of humidity cell is validated.The results show that it is less than 2min from-65.2

14.5℃DP.The humidity fountain equipment of solid desiccant can meet the experimental meeds of alumina humidity sensor.

关键词

Keywords

references

天然气脱水方法 [J]. 杨思明. 中国海上油气.工程 . 1999(06)

氧化铝湿度传感器在气体及有机液体中的应用 [J]. 曹予新. 化学传感器 . 1999(03)

全封闭组合电器在电力系统的应用 [J]. 胡邦基. 华北电力技术 . 1994(07)

SF 6 气体中的水分管理 [J]. 曲明鑫. 中国电力 . 1994(07)

实用有机化学手册[M]. 上海科学技术出版社 , 李述文,范如霖编, 1981

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