基于曲线拟合的小量程气体流量传感器

陈启兴; 任国强; 吴钦章

doi:10.13873/j.1000-97872008.10.035

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于曲线拟合的小量程气体流量传感器

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于曲线拟合的小量程气体流量传感器
- Gas flow sensor with small measurement range based on curve fitting
- 传感器与微系统 2008年27卷第10期页码：98-100
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院光电技术研究所
  2. 中国科学院研究生院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.10.035
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]陈启兴,任国强,吴钦章.基于曲线拟合的小量程气体流量传感器[J].传感器与微系统,2008,27(10):98-100.

CHEN Qi-xing1, REN Guo-qiang1, WU Qin-zhang1. Gas flow sensor with small measurement range based on curve fitting[J]. 2008, 27(10): 98-100.
[1]陈启兴,任国强,吴钦章.基于曲线拟合的小量程气体流量传感器[J].传感器与微系统,2008,27(10):98-100. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.10.035.

CHEN Qi-xing1, REN Guo-qiang1, WU Qin-zhang1. Gas flow sensor with small measurement range based on curve fitting[J]. 2008, 27(10): 98-100. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.10.035.

摘要

开发了一种小量程的气体流量传感器。介绍了传感器系统的结构与工作原理

并对传感器系统进行了实验验证。实验结果表明:在常温与常压条件下

传感器工作正常

且气体流量的绝对误差不超过0.30mL

相对误差不超过7.4%。它不仅是一种气体传感器

还是一种气体流量或流速传感器。该传感器具有快速响应、高灵敏度、便于安装、稳固、耐用和高性价比等特点

适合于任何气体。

Abstract

A gas flow sensor with small measurement range is developed.The structure and working principle of the sensor are introduced

and experimental verification of the sensor is made.The experiment results show that the sensor works well since its absolute error is less than 0.30mL and its relative error is less than 7.4% under the normal temperature and pressure conditions.The device is not only a gas sensor but also a gas flow or flow velocity sensor.The sensor has the characteristics of a fast response

high sensitivity

convenient installation

strong firmness

outstanding durableness

excellent cost effectiveness

etc.This sensor is usually suitable for any gas.

关键词

Keywords

references

超声波气体流量测量系统的实现 [J]. 邱立存,王汝琳. 传感器与微系统 . 2006(01)

微气体流量传感器 [J]. 张延文,于连波,于海超,高成臣. 传感器技术 . 1998(02)

Curve fits in the presence of random and systematic error [J] . John Bechhoefer. American Journal of Physics . 2000 (5)

浏览量

107

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

流量传感器用高精度差压芯体的设计

面向微处理器核的片上老化检测模块设计

MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置

一种高性能MEMS气体流量传感器设计

一种热温差式悬空结构气体流量传感器设计