微机械陀螺管芯测试方法

刘忠卿; 张嵘

doi:10.13873/j.1000-97872008.04.010

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微机械陀螺管芯测试方法

计算与测试 | 更新时间：2025-09-11

- 微机械陀螺管芯测试方法
- Test method of micromachined gyroscope chip
- 传感器与微系统 2008年第4期页码：111-113+116
- 作者机构：
  
  1. 清华大学精密仪器与机械学系
  2. 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.04.010
  中图分类号： TH703
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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[1]刘忠卿,张嵘.微机械陀螺管芯测试方法[J].传感器与微系统,2008(04):111-113+116.

LIU Zhong-qing, ZHANG Rong. Test method of micromachined gyroscope chip[J]. 2008, (4): 111-113+116.
[1]刘忠卿,张嵘.微机械陀螺管芯测试方法[J].传感器与微系统,2008(04):111-113+116. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.04.010.

LIU Zhong-qing, ZHANG Rong. Test method of micromachined gyroscope chip[J]. 2008, (4): 111-113+116. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.04.010.

摘要

采用低分布参数陶瓷探针卡和卡上前置放大器的静电驱动测试方案

解决了微机械陀螺管芯测试中分布参数的影响问题

测得准确的频率特性

获得应用、评估中必需的谐振频率、品质因数（Q值）等参数。在将管芯与测试电路分离、结合的过程中

四维精密位移台发挥了良好的作用。显微视频系统使观察、记录更加准确方便。虚拟仪器技术的应用提高了测试过程的自动化程度。系统为快速剔除不合格产品、测试评估各项性能指标提供了快速有效途径

在促进微机械陀螺技术发展与产业化过程中必将发挥重要的作用。

Abstract

An efficient test system based on the ceramic probe card and the preamplifier presented in this paper achieves a good solution for the impact from the distribution parameters in micromachined gyroscope chip testing.The frequency characteristic and the needed parameters（resonant frequency

Q value）are obtained appropriately.A 4-D precise displacement operation platform is designed according to the precision to adjust the position of the chip

and a microscopic video system is built to observe the chip conveniently and record the results.Virtual instrument is used for automating the test process.It is expected that the test system will play an important role in development and industrialization of micromachined gyroscope.

关键词

Keywords

references

振动式微机械陀螺动态特性光学测试 [J]. 康新,董萼良,裘安萍,何小元. 光学学报 . 2006(02)

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