扫描隧道显微镜微动台的有限元分析与实验研究

权哲浩; 林玉池; 仝凌志; 金日光; 赵美蓉

doi:10.13873/j.1000-97872008.04.008

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扫描隧道显微镜微动台的有限元分析与实验研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 扫描隧道显微镜微动台的有限元分析与实验研究
- Finite element analysis and experiment for micro-displacement stage of scanning tunneling microscope
- 传感器与微系统 2008年第4期页码：74-76+79
- 作者机构：
  
  1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室
  2. 金日成综合大学物理学院
  3. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室,天津,300072
  4. ,平壤,朝鲜
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（50105016）
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.04.008
  中图分类号： TH742
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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[1]权哲浩,林玉池,仝凌志,金日光,赵美蓉.扫描隧道显微镜微动台的有限元分析与实验研究[J].传感器与微系统,2008(04):74-76+79.

KWON Chol-ho1, LIN Yu-chi1, TONG Ling-zhi1, et al. Finite element analysis and experiment for micro-displacement stage of scanning tunneling microscope[J]. 2008, (4): 74-76+79.
[1]权哲浩,林玉池,仝凌志,金日光,赵美蓉.扫描隧道显微镜微动台的有限元分析与实验研究[J].传感器与微系统,2008(04):74-76+79. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.04.008.

KWON Chol-ho1, LIN Yu-chi1, TONG Ling-zhi1, et al. Finite element analysis and experiment for micro-displacement stage of scanning tunneling microscope[J]. 2008, (4): 74-76+79. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.04.008.

摘要

设计了一种以基于尺蠖运动原理的微动台为核心的扫描隧道显微镜（STM）机械机构

利用有限元方法对微动台部分的结构进行分析

对其静态、模态特性进行了实验研究。结果表明:微动台具有较大的行程和较好的稳定性

载物力可以达到16.7 N

最小步距约8.8 nm

行程14mm。

Abstract

A novel micro-displacement stage of scanning tunneling microscopy（STM） based on the principle of inchworm motion is designed.it is successful in observing atom space image.By using the finite element analysis software

research is done on the static and dynamic character of the micro-displacement stage.The experiment results show that the motion of the micro-displacement stage is stability

loading capacity is 16.7N and the mini-real step is 8.8nm

the moving range is 14mm.

关键词

Keywords

references

压电直线精密驱动器研究 [J]. 刘建芳,杨志刚,范尊强,程光明. 光学精密工程 . 2005(01)

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