基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制

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设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制
- Deleloprment of digital tri-axial acceleration sensor based on LTCC
- 传感器与微系统 2008年第3期页码：80-82
- 作者机构：
  
  1. 中北大学电子测试技术国家重点实验室
  2. 中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家“973”计划资助项目（513260301）
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.03.039
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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[1]刘俊,郭虎岗,马喜宏,谭秋林.基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制[J].传感器与微系统,2008(03):80-82.

LIU Jun, GUO Hu-gang, MA Xi-hong, et al. Deleloprment of digital tri-axial acceleration sensor based on LTCC[J]. 2008, (3): 80-82.
[1]刘俊,郭虎岗,马喜宏,谭秋林.基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制[J].传感器与微系统,2008(03):80-82. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.03.039.

LIU Jun, GUO Hu-gang, MA Xi-hong, et al. Deleloprment of digital tri-axial acceleration sensor based on LTCC[J]. 2008, (3): 80-82. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.03.039.

将微机械加工工艺与混合集成技术相结合

设计并制作了具有RS422标准接口的数字三轴加速度传感器。采用低温共烧陶瓷（LTCC）工艺将敏感元件、信号调理电路、模数转换电路和接口电路集成于一体

集成后的体积为45mm×45mm×15mm

实现了传感器的数字化、小型化和模块化

并大大提高了系统的测量精度和可靠性。

Combining the microfabrication with hybrid integrated technology

a digital tri-axial acceleration sensor with RS422 data interface is developed.Based on the low temperature co-fired ceramic（LTCC）technology

the silicon accelerometer

signal processing circuit

A/D convertor and RS422 interface cell are integrated in it.The size of the sensor is 45 mm×45 mm×15 mm.Digitalization

miniaturization and modularization are realized.Furthermore

the measuring accuracy and reliability of the system are greatly improved.

压阻式硅基传感器的温度补偿方法研究 [J]. 郭涛,石云波,张文栋. 微纳电子技术 . 2003(Z1)

C8051F系列SOC单片机原理及应用[M]. 国防工业出版社 , 张迎新,雷文,姚静波编著, 2005

微传感器与微执行器全书[M]. 科学出版社 , (美)格雷戈里T.A.科瓦奇（GregoryT.A.Kovacs）著, 2003

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