半导体乙醇传感器的湿度影响与氧化铌的应用

董汉鹏; 张威

doi:10.13873/j.1000-97872008.03.035

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半导体乙醇传感器的湿度影响与氧化铌的应用

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 半导体乙醇传感器的湿度影响与氧化铌的应用
- Influence of humidity on sensitivity of semiconductor alcohol sensors and application of niobium oxide dopant
- 传感器与微系统 2008年第3期页码：49-51+57
- 作者机构：
  
  1. 北京大学微电子研究院
  2. 北京大学微电子研究院,北京,100871
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.03.035
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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[1]董汉鹏,张威.半导体乙醇传感器的湿度影响与氧化铌的应用[J].传感器与微系统,2008(03):49-51+57.

DONG Han-peng, ZHANG Wei. Influence of humidity on sensitivity of semiconductor alcohol sensors and application of niobium oxide dopant[J]. 2008, (3): 49-51+57.
[1]董汉鹏,张威.半导体乙醇传感器的湿度影响与氧化铌的应用[J].传感器与微系统,2008(03):49-51+57. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.03.035.

DONG Han-peng, ZHANG Wei. Influence of humidity on sensitivity of semiconductor alcohol sensors and application of niobium oxide dopant[J]. 2008, (3): 49-51+57. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.03.035.

摘要

详细考察了湿度对SnO2系半导体乙醇传感器的影响

实验表明:环境湿度会使三价金属氧化物掺杂的SnO2半导体材料灵敏度下降

其中以氧化镧掺杂的SnO2系乙醇传感器衰减严重

在相对湿度90%RH（25℃）的环境中3×10-4体积分数的乙醇信号衰减率达到30%

这种现象同样存在与In2O3和A l2O3掺杂体系的传感器上。以Nb2O5为掺杂剂的传感器体系湿度引起的灵敏度衰减轻微

用1.5%Nb2O5和0.5%La2O3配合使用的掺杂剂湿度影响较小

同时

传感器对乙醇灵敏度和选择性较好。

Abstract

The influence of humidity on the sensitivity of stannic oxide based alcohol sensors is investigated.Humidity induced signal attenuation is observed when some trivalent metal ions or oxides

especially La2O3

are used as dopant.The rate of attenuation of the sensors to 3×10-4volume fraction of alcohol reaches 30 %

0 % at 90 %RH and 25 ℃.This attenuation is observed at In2O3 and Al2O3 dopant systems.Less attenuation can be found when Nb2O5 is used as dopant.1.5 %Nb2O5 accompany with 0.5 %La2O3 dopant is developed

which shows less humidity induced signal attenuation rate and excellent sensitivity and selectivity to alcohol.

关键词

Keywords

references

气、湿敏感器件及其应用[M]. 科学出版社 , 康昌鹤等编著, 1988

Evaluation of a portable evidential breath alcohol analyzer [J] . Gerasimos Razatos,Ruth Luthi,Sarah Kerrigan. Forensic Science International . 2005 (1)

Relationship between ethanol gas sensitivity and surface catalytic property of tin oxide sensors modified with acidic or basic oxides [J] . Teruyuki Jinkawa,Go Sakai,Jun Tamaki,Norio Miura,Noboru Yamazoe. Journal of Molecular Catalysis. A, Chemical . 2000 (1)

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