微机电系统的现状与展望

陆敬予; 张飞虎; 张勇

doi:10.13873/j.1000-97872008.02.039

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微机电系统的现状与展望

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 微机电系统的现状与展望
- Current status and future prospect of MEMS
- 传感器与微系统 2008年第2期页码：1-3+7
- 作者机构：
  
  1. 哈尔滨工业大学机电工程学院
  2. 哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872008.02.039
  中图分类号： TP211.4
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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[1]陆敬予,张飞虎,张勇.微机电系统的现状与展望[J].传感器与微系统,2008(02):1-3+7.

LU Jing-yu, ZHANG Fei-hu, ZHANG Yong. Current status and future prospect of MEMS[J]. 2008, (2): 1-3+7.
[1]陆敬予,张飞虎,张勇.微机电系统的现状与展望[J].传感器与微系统,2008(02):1-3+7. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.02.039.

LU Jing-yu, ZHANG Fei-hu, ZHANG Yong. Current status and future prospect of MEMS[J]. 2008, (2): 1-3+7. DOI： 10.13873/j.1000-97872008.02.039.

摘要

在过去20多年中

微机电系统（MEMS）已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段发展到当前的实际应用阶段

并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域

MEMS已经成为21世纪最具潜力的研究领域之一。对MEMS进行了简要的介绍

包括MEMS应用

MEMS的市场情况

以及3种主要的MEMS微制造技术

即体微制造、面微制造和LIGA技术。最后

提出了MEMS将来研究和发展的趋势。

Abstract

During the last two decades

microelectromechanical systems（MEMS）has advanced from the early stage of technology development

device exploration

and laboratory research

to the stage of practical applications

and is expanding to many new areas of exploration and research.MEMS technology has become one of the most promising fields in the 21st century.A tutorial review of MEMS is presented

including current and potential applications of MEMS

the state of the MEMS market

as well as three major micromachining processes employed to MEMS devices

namely bulk micromachining

surface micromachining and LIGA technology.Finally

the future trends of MEMS research and development are suggested.

关键词

Keywords

references

LIGA process – micromachining technique using synchrotron radiation lithography – and some industrial applications [J] . Yoshihiro Hirata. Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B . 2003

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