SnO<sub>2</sub>纳米颗粒气体传感器在CO<sub>2</sub>气体检测中的应用

王凌英; 丁占来

doi:10.13873/j.1000-97872007.12.038

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SnO₂纳米颗粒气体传感器在CO₂气体检测中的应用

应用技术 | 更新时间：2025-09-11

- SnO₂纳米颗粒气体传感器在CO₂气体检测中的应用
- Application of SnO₂ nanoparticle gas sensors in CO₂ gas detection
- 传感器与微系统 2007年第12期页码：114-116
- 作者机构：
  
  1. 石家庄铁道学院材料科学与工程分院
  2. 石家庄铁道学院材料科学与工程分院,河北,石家庄,050043
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  河北省留学回国人员择优资助项目
- DOI：10.13873/j.1000-97872007.12.038
  中图分类号： TB383.1;TP212
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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[1]王凌英,丁占来.SnO_2纳米颗粒气体传感器在CO_2气体检测中的应用[J].传感器与微系统,2007(12):114-116.

WANG Ling-ying, DING Zhan-lai. Application of SnO₂ nanoparticle gas sensors in CO₂ gas detection[J]. 2007, (12): 114-116.
[1]王凌英,丁占来.SnO_2纳米颗粒气体传感器在CO_2气体检测中的应用[J].传感器与微系统,2007(12):114-116. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.12.038.

WANG Ling-ying, DING Zhan-lai. Application of SnO₂ nanoparticle gas sensors in CO₂ gas detection[J]. 2007, (12): 114-116. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.12.038.

摘要

将有机金属先驱体[Sn（N（CH3）2）2]2在适当的条件下热解

制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒。然后

在气体传感器的多晶硅层上原位沉积纳米颗粒悬浮液得到纳米颗粒多孔薄膜传感层

并探索了SnO2纳米颗粒传感器原位掺杂Mg

Ba元素

检测气体传感器在不同CO2体积分数下的敏感性。结果表明:此方法制得的传感器对CO2气体敏感性不佳

尚需进一步研究掺杂元素和掺杂工艺。

Abstract

The organometallic precursor [Sn（N（CH3）2）2]2 is decomposed in a controlled condition

resulting in monodisperse SnO2 nanoparticles.The SnO2 nanoparticle colloid is deposited in-situ on the polycrystal silicon platform and then the porous structure sensing-layer is formed by sintering.In-situ doping of Mg

Ba element in SnO2 nanoparticle gas sensor is also carried out.The gas sensors are tested to detect the sensibility to different volume fraction of CO2 gas.The results show that the sensors made in this way don’t display good sensilility for CO2.It is needed to research more doping element and doping technics.

关键词

Keywords

references

SnO 2 纳米颗粒多孔薄膜气敏传感器对CO气体的敏感性 [J]. 丁占来,王建强,安寸然,任德亮,侯哲哲. 传感技术学报 . 2006(01)

纳米SnO 2 的制备技术及应用 [J]. 杨华明,敖伟琴,曹建红,邱冠周. 材料导报 . 2003(05)

金属氧化物半导体气敏传感器的研究和开发进展 [J]. 蔡晔,葛忠华,陈银飞. 化工生产与技术 . 1997(02)

纳米材料和器件[M]. 清华大学出版社 , 朱静等编著, 2003

纳米材料和纳米结构[M]. 科学出版社 , 张立德,牟季美著, 2001

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SnO2纳米颗粒气体传感器在CO2气体检测中的应用

Application of SnO2 nanoparticle gas sensors in CO2 gas detection

DOI：10.13873/j.1000-97872007.12.038

摘要

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SnO₂纳米颗粒气体传感器在CO₂气体检测中的应用

Application of SnO₂ nanoparticle gas sensors in CO₂ gas detection