Pd掺杂对SnO<sub>2</sub>气敏性能的影响

高兆芬; 曾宇平

doi:10.13873/j.1000-97872007.10.019

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Pd掺杂对SnO₂气敏性能的影响

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- Pd掺杂对SnO₂气敏性能的影响
- Influence of Pd doping on tin oxide gas sensing properties
- 传感器与微系统 2007年第10期页码：32-34
- 作者机构：
  
  1. 上饶师范学院化学系
  2. 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872007.10.019
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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[1]高兆芬,曾宇平.Pd掺杂对SnO_2气敏性能的影响[J].传感器与微系统,2007(10):32-34.

GAO Zhao-fen1, ZENG Yu-ping2. Influence of Pd doping on tin oxide gas sensing properties[J]. 2007, (10): 32-34.
[1]高兆芬,曾宇平.Pd掺杂对SnO_2气敏性能的影响[J].传感器与微系统,2007(10):32-34. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.10.019.

GAO Zhao-fen1, ZENG Yu-ping2. Influence of Pd doping on tin oxide gas sensing properties[J]. 2007, (10): 32-34. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.10.019.

摘要

在气体传感器中金属Pd被广泛用作的催化剂

利用直流溅射和浆料涂覆的方法制备出SnO2气敏元件

在氧气氛中通过直流溅射对SnO2元件进行Pd掺杂

并对用不同制备方法所得元件的电导、灵敏度等进行比较。结果表明:Pd掺杂降低了元件的电导

并使得电导峰出现的位置从460℃转移到260℃和180℃

这和样品的制备方法有关。Pd掺杂有利于提高SnO2元件的灵敏度

特别在低温区（100

50℃）对不同气体的灵敏度有几十倍提高。

Abstract

Palladium is a widely used catalyst in gas sensors

SnO

gas sensors are prepared via DC-sputtering and slurry coating processing

respectively.The gas sensors are then Pd-doped by DC-sputtering in oxygen atmosphere.The conductivity

sensitivity of the gas sensors are investigated.The results indicate that Pd-doped reduces the conductivity of gas sensor and leads to the peak value of the conductivity shift from 460 ℃ to 260 ℃ and 180 ℃

respectively

depending on the SnO

film preparing method.The sensitivity of the Pd-doped SnO

gas sensor is much higher.Specially

the sensitivity at the temperature of 100

50 ℃ is several decade times than that of the gas sensor without Pd doping.

关键词

Keywords

references

Synthesis of SnO 2 /Pd composite films by PVD route for a liquid petroleum gas sensor [J] . S Gupta,R.K Roy,M.Pal Chowdhury,A.K Pal. Vacuum . 2004 (2)

Oxide Semiconductor Gas Sensors [J] . Noboru Yamazoe,Go Sakai,Kengo Shimanoe. Catalysis Surveys from Asia . 2003 (1)

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DOI：10.13873/j.1000-97872007.10.019

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Keywords

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Pd掺杂对SnO₂气敏性能的影响