TiO<sub>2</sub>表面氧吸附模拟与氧敏特性研究

叶伟国; 潘海波

doi:10.13873/j.1000-97872007.04.013

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TiO₂表面氧吸附模拟与氧敏特性研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- TiO₂表面氧吸附模拟与氧敏特性研究
- Study on oxygen absorption simulation and sensing characteristic for TiO₂ surface
- 传感器与微系统 2007年第4期页码：28-30+33
- 作者机构：
  
  1. 绍兴文理学院物理系
  2. 福州大学化学系
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  福建省纳米重大专项计划资助项目（2005HZ01-2-6）
- DOI：10.13873/j.1000-97872007.04.013
  中图分类号： TN304
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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[1]叶伟国,潘海波.TiO_2表面氧吸附模拟与氧敏特性研究[J].传感器与微系统,2007(04):28-30+33.

YE Wei-guo1, PAN Hai-bo2. Study on oxygen absorption simulation and sensing characteristic for TiO₂ surface[J]. 2007, (4): 28-30+33.
[1]叶伟国,潘海波.TiO_2表面氧吸附模拟与氧敏特性研究[J].传感器与微系统,2007(04):28-30+33. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.04.013.

YE Wei-guo1, PAN Hai-bo2. Study on oxygen absorption simulation and sensing characteristic for TiO₂ surface[J]. 2007, (4): 28-30+33. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.04.013.

摘要

根据经典的统计理论

并结合麦克斯韦速率分布律得出吸附过程中O2吸附量的理论模型

从而获得氧吸附面密度与温度、氧分压的理论变化规律。在活化能Ea=0.30 eV的情况下

TiO2对氧气吸附的温度敏感区域在120

10K之间

最佳吸附温度为370K

这与由金红石相TiO2所制成氧敏元件的最佳灵敏度所处的工作温度（378K）相近。并由模拟理论推测O2在半导体表面的吸附面密度与氧分压呈线性增加。

Abstract

The theoretical processes of the adsorbed O2 density with temperature and oxygen pressure are explained by a classical statistical theory and a theoretical model in the adsorption process according to Maxwell-Boltzmann distribution.The sensitized temperature for adsorbed oxygen on the TiO2 surface is in the region of 120

10 K under an active energy Ea=0.30 eV

and the optimal absorbed temperature is at 370 K.The results are close to the experimental nature

which the oxygen gas sensor is made by rutile TiO2 and optimal operating-temperature is at 378 K.And also

it is induced by computer simulation that the absorbed O2 density on the surface of semiconductor TiO2 increases linearly with oxygen pressure.

关键词

Keywords

references

The adsorption of small molecules on the TiO 2 anatase （101） surface by first-principles molecular dynamics [J] . Surface Science . 1998

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Study on oxygen absorption simulation and sensing characteristic for TiO2 surface

DOI：10.13873/j.1000-97872007.04.013

摘要

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关键词

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Study on oxygen absorption simulation and sensing characteristic for TiO₂ surface