多轴微加速度传感器的进展

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多轴微加速度传感器的进展

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 多轴微加速度传感器的进展
- Progress in multi-axis microaccelerometer
- 传感器与微系统 2007年第4期页码：4-6
- 作者机构：
  
  1. 重庆工学院汽车学院
  2. 重庆大学光电工程学院
  3. 重庆工学院汽车学院,重庆,400050
  4. ,重庆,400044
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（10176040）
- DOI：10.13873/j.1000-97872007.04.005
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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[1]刘妤,温志渝,杨红韵.多轴微加速度传感器的进展[J].传感器与微系统,2007(04):4-6.

LIU Yu1, WEN Zhi-yu2, YANG Hong-yun1. Progress in multi-axis microaccelerometer[J]. 2007, (4): 4-6.
[1]刘妤,温志渝,杨红韵.多轴微加速度传感器的进展[J].传感器与微系统,2007(04):4-6. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.04.005.

LIU Yu1, WEN Zhi-yu2, YANG Hong-yun1. Progress in multi-axis microaccelerometer[J]. 2007, (4): 4-6. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.04.005.

微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展

单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟

多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍

评述了近年来该领域的进展

并就其未来的发展作了展望。

The microaccelerometer is an important crucial component of micro inertial measurement unit（MIMU）.With the development of MEMS technology

technique of the single-axis microaccelerometers is already mature

study on the multi-axis microaccelerometers is becoming the hot issue in MEMS field.Through the introduction of some multi-axis microaccelerometers

new progress and the future trend in this field are discussed.

MEMS加速度传感器的原理及分析 [J]. 张海涛,阎贵平. 电子工艺技术 . 2003(06)

汽车MEMS传感器的应用及发展 [J]. 吴雄. 传感器世界 . 2002(03)

微硅加速度传感器的发展 [J]. 孟军,茅盘松. 电子器件 . 1999(04)

微型传感器及其应用[M]. 化学工业出版社 , 蒋蓁,罗均,谢少荣编著, 2005

微惯性仪表[M]. 清华大学出版社 , 董景新等编著, 2003

Micromachined Inertial Sensors: The State-of-the-Art and a Look into the Future [J] . Michael Kraft. Measurement and Control . 2000 (6)

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