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微位移驱动器的控制模型及仿真技术研究
更新时间:2025-09-11
    • 微位移驱动器的控制模型及仿真技术研究

    • Research of micro-displacement actuator modeling and simulation technology

    • 传感器与微系统   2007年第1期 页码:93-96
    • DOI:10.13873/j.1000-97872007.01.031    

      中图分类号: TP274
    • 纸质出版:2007

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  • [1]宋仁旺,陈琳英.微位移驱动器的控制模型及仿真技术研究[J].传感器与微系统,2007(01):93-96. DOI: 10.13873/j.1000-97872007.01.031.

    SONG Ren-wang, CHEN Lin-ying. Research of micro-displacement actuator modeling and simulation technology[J]. 2007, (1): 93-96. DOI: 10.13873/j.1000-97872007.01.031.

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