MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用

胡明; 吕宇强; 颜海洋; 吴淼

doi:10.13873/j.1000-97872007.01.030

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MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用

更新时间：2025-09-11

- MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用
- Application of MEMS technology in uncooled infrared detector
- 传感器与微系统 2007年第1期页码：90-92+96
- 作者机构：
  
  1. 天津大学电子信息工程学院
  2. 天津大学电子信息工程学院,天津,300072
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（60371030）;天津市自然科学基金资助项目（043600811）
- DOI：10.13873/j.1000-97872007.01.030
  中图分类号： TN215
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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[1]胡明,吕宇强,颜海洋,吴淼.MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用[J].传感器与微系统,2007(01):90-92+96.

HU Ming, L Yu-qiang, YAN Hai-yang, et al. Application of MEMS technology in uncooled infrared detector[J]. 2007, (1): 90-92+96.
[1]胡明,吕宇强,颜海洋,吴淼.MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用[J].传感器与微系统,2007(01):90-92+96. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.01.030.

HU Ming, L Yu-qiang, YAN Hai-yang, et al. Application of MEMS technology in uncooled infrared detector[J]. 2007, (1): 90-92+96. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.01.030.

摘要

微机电系统（MEMS）技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术

它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径。目前

应用MEMS技术制作的主要有微测辐射热计微桥结构和微悬臂红外探测器双层悬臂结构2种。对它们各自的工作原理、组成结构、MEMS工艺实现以及发展方向作了较为详细的阐述。

Abstract

Micro electro-mechanical system（MEMS）is a new rising technology which aim is to integrate the microelectrics and micromechanics.It provides a new path to the application of uncooled infrared detector.At present

there are two micro structure maded by MEMS technology:microbridge in the microbolometer FPA and bimaterial microcantilever of microcantilever detector.The principle

microfabrication process and trends are introduced respectively.

关键词

Keywords

references

一种新型微机械红外热探测器的吸收层 [J]. 梁晋涛,刘君华,张进永. 西安交通大学学报 . 2005(08)

真空蒸发法制备氧化钒薄膜的研究 [J]. 吴淼,胡明,张之圣,刘志刚,温宇峰. 硅酸盐通报 . 2005(01)

基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统 [J]. 王玮冰,叶甜春,陈大鹏,伍小平,张青川,潘亮,段志辉. 微纳电子技术 . 2003(Z1)

用离子束增强沉积从V 2 O 5 粉末制备高热电阻温度系数VO 2 薄膜 [J]. 李金华,袁宁一,陈王丽华,林成鲁. 物理学报 . 2002(08)

溶胶凝胶法制备VO 2 薄膜的组织与性能研究 [J]. 赵康,魏建锋,孙军,谷臣清. 功能材料 . 2002(01)

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