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UFPA器件的新型微桥结构设计及其有限元分析
更新时间:2025-09-11
    • UFPA器件的新型微桥结构设计及其有限元分析

    • Design and finite element analysis of novel bridge structure for UFPAs

    • 传感器与微系统   2007年第1期 页码:71-73+76
    • DOI:10.13873/j.1000-97872007.01.024    

      中图分类号: TN215
    • 纸质出版:2007

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  • [1]杨晓瑜,吴志明,蒋亚东,李素.UFPA器件的新型微桥结构设计及其有限元分析[J].传感器与微系统,2007(01):71-73+76. DOI: 10.13873/j.1000-97872007.01.024.

    YANG Xiao-yu, WU Zhi-ming, JIANG Ya-dong, et al. Design and finite element analysis of novel bridge structure for UFPAs[J]. 2007, (1): 71-73+76. DOI: 10.13873/j.1000-97872007.01.024.

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