微型半球陀螺仪的误差源研究

倪受东; 吴洪涛; 嵇海平; 朱剑英

doi:10.13873/j.1000-97872007.01.010

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微型半球陀螺仪的误差源研究

更新时间：2025-09-11

- 微型半球陀螺仪的误差源研究
- Study on error source of miniature hemisphere gyroscope
- 传感器与微系统 2007年第1期页码：30-32
- 作者机构：
  
  1. 南京航空航天大学机电学院
  2. 南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016
  3. 南京工业大学机械与动力工程学院
  4. ,江苏,南京,210009
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  江苏省自然科学基金资助项目（BK2003091）
- DOI：10.13873/j.1000-97872007.01.010
  中图分类号： V241.5
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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[1]倪受东,吴洪涛,嵇海平,朱剑英.微型半球陀螺仪的误差源研究[J].传感器与微系统,2007(01):30-32.

NI Shou-dong~. Study on error source of miniature hemisphere gyroscope[J]. 2007, (1): 30-32.
[1]倪受东,吴洪涛,嵇海平,朱剑英.微型半球陀螺仪的误差源研究[J].传感器与微系统,2007(01):30-32. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.01.010.

NI Shou-dong~. Study on error source of miniature hemisphere gyroscope[J]. 2007, (1): 30-32. DOI： 10.13873/j.1000-97872007.01.010.

摘要

讨论了微型半球陀螺仪特有的一些误差源

主要有感测电路上的量测误差、电极与薄壳间电容的非线性效应误差、温度变化所引发的热漂移、线加速度所引发的误差以及非对称结构和非对称阻尼误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。

Abstract

Some error sources peculiar to miniature hemisphere gyroscope are discussed

such as measuring error on measuring electric circuit

electric capacity non-linear effect error between electrode and shell

hot drifting phenomenon

linear acceleration error as well as the asymmetrical structure and the asymmetrical damping errors.Understanding above error sources is the foundation of the microstructure manufacture and the circuit design.

关键词

Keywords

references

半球谐振陀螺（HRG）信号处理技术 [J]. 吕志清. 中国惯性技术学报 . 2000(03)

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