半导体气体传感器敏感机理的研究进展

徐甲强; 韩建军; 孙雨安; 谢冰

doi:10.13873/j.1000-97872006.11.002

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

半导体气体传感器敏感机理的研究进展

更新时间：2025-09-11

- 半导体气体传感器敏感机理的研究进展
- The progress in sensing mechanism of semiconductor gas sensors
- 传感器与微系统 2006年第11期页码：5-8
- 作者机构：
  
  1. 郑州轻工业学院材料与化学工程学院
  2. 郑州轻工业学院材料与化学工程学院,河南,郑州,450002
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（20471055）;河南省杰出青年科学基金资助项目（03120000800）
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.11.002
  中图分类号： TP212.2
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]徐甲强,韩建军,孙雨安,谢冰.半导体气体传感器敏感机理的研究进展[J].传感器与微系统,2006(11):5-8.

XU Jia-qiang, HAN Jian-jun, SUN Yu-an, et al. The progress in sensing mechanism of semiconductor gas sensors[J]. 2006, (11): 5-8.
[1]徐甲强,韩建军,孙雨安,谢冰.半导体气体传感器敏感机理的研究进展[J].传感器与微系统,2006(11):5-8. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.11.002.

XU Jia-qiang, HAN Jian-jun, SUN Yu-an, et al. The progress in sensing mechanism of semiconductor gas sensors[J]. 2006, (11): 5-8. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.11.002.

摘要

为了改进半导体气体传感器的选择性

研究人员利用四极质谱仪、气相色谱、阻抗测试、XPS等检测手段对半导体气体传感器的乙醇、硫化氢、氯气、一氧化碳、氢气、含氮化合物和有机烷烃等常见检测气体的敏感机理进行了研究

取得了一些进展。对研究所得结论和理论模型进行了概述

并提出了今后的研究方向。

Abstract

To improve gas selectivity of semiconductor gas sensors

the researchers studied the gas sensing mechanism of C

and CH

by means of quadrupole mass spectrometer

gas chromatography

impedance testing

XPS and so on

some important conclusions are gained.The sensing mechanism and theory models of semiconductor gas sensors are introduced

and investigation directions of sensing mechanism in the future are suggested in the end.

关键词

Keywords

references

WO 3 纳米材料的NO 2 气敏特性 [J]. 魏少红,牛新书,蒋凯. 传感器技术 . 2002(11)

TiO 2 薄膜氧敏元件的研究与发展 [J]. 田立强,潘国峰,赵彦晓,王静,孙以材. 传感器世界 . 2002(07)

气敏传感器的近期进展 [J]. 李平,余萍,肖定全. 功能材料 . 1999(02)

Pt/TiO 2 催化剂上的氢—氧作用 Ⅰ.氢、氧的吸咐—脱附行为以及相互促进作用 [J]. 李新生,陈燕馨,李文钊,陈怡萱. 分子催化 . 1993(03)

SnO 2 基半导体陶瓷的酒敏特性及机理探讨 [J]. 徐廷献,安建军,赵俊国. 硅酸盐学报 . 1993(02)

传感器技术[M]. 哈尔滨工业大学出版社 , 徐甲强,张全法,范福玲编著, 2004

Oxide Semiconductor Gas Sensors [J] . Noboru Yamazoe,Go Sakai,Kengo Shimanoe. Catalysis Surveys from Asia . 2003 (1)

浏览量

1775

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

烧结气氛对SnO₂纳米材料气敏性影响的研究

Cr₂O₃/ZnO的制备及常温氨的气敏性能

基于花状h MoO₃纳米棒@石墨烯的氨气传感器

基于光化学沉积WO₃多孔薄膜的气体传感器研究

新型二维MXene材料在气体传感领域的研究进展