微机械电容式加速度计检测电路设计

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

微机械电容式加速度计检测电路设计

更新时间：2025-09-11

- 微机械电容式加速度计检测电路设计
- Detection circuit design of MEMS capacitive accelerometer
- 传感器与微系统 2006年第8期页码：59-60+73
- 作者机构：
  
  1. 中北大学电子科学与技术系电子测试技术国家重点试验室
  2. 中北大学电子科学与技术系电子测试技术国家重点试验室,山西,太原,030051
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  武器装备预先研究计划资助项目（514090304B0401）;山西省自然科学基金资助项目（20051040）
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.08.020
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]石云波,王玲,刘俊.微机械电容式加速度计检测电路设计[J].传感器与微系统,2006(08):59-60+73.

SHI Yun-bo, WANG Ling, LIU Jun. Detection circuit design of MEMS capacitive accelerometer[J]. 2006, (8): 59-60+73.
[1]石云波,王玲,刘俊.微机械电容式加速度计检测电路设计[J].传感器与微系统,2006(08):59-60+73. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.08.020.

SHI Yun-bo, WANG Ling, LIU Jun. Detection circuit design of MEMS capacitive accelerometer[J]. 2006, (8): 59-60+73. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.08.020.

通过对MEMS电容式加速度计的差分电容检测电路优缺点的比较

结合直流充放电检测方法和交流测量方法的优点

设计了微分检测电路

用方波作为载波。该电路由方波信号发生器、微分电路、全波整流电路和滤波电路组成。经试验验证:可检测到10-16F的差分电容

且其非线性度小于±1%FS

可作为MEMS电容式加速度计的后续处理电路。

In order to detect the MEMS capacitive accelerometer signal

through compared of the advantage and the disadvantage of the difference capacity detection circuit

combined the direct current charge and discharge and alternating current measurement ways

a differential detection circuit is designed.The carrier wave is rectangular wave

the circuit mainly is composed of rectangular wave occurrence circuit

differential circuit

the whole wave commutate circuit and filter circult.Experiment results show the resolution is 10

-16

the nonlinearity is less than ±1 %FS

the system can be used to detect the capacity accelerometer.

电容过程成像中电容测量方法的比较研究 [J]. 夏靖波,李治安,宋瑞苓. 机器人 . 2000(03)

微弱信号检测技术[M]. 电子工业出版社 , 刘俊,张斌珍编著, 2005

浏览量

508

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

暂无数据