高精度激光干涉条纹细分系统

齐永岳; 赵美蓉; 林玉池

doi:10.13873/j.1000-97872006.08.015

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高精度激光干涉条纹细分系统

更新时间：2025-09-11

- 高精度激光干涉条纹细分系统
- High accuracy system of laser interferometer fringe division
- 传感器与微系统 2006年第8期页码：43-45+48
- 作者机构：
  
  1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  2. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（50105016）
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.08.015
  中图分类号： TH744.3
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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[1]齐永岳,赵美蓉,林玉池.高精度激光干涉条纹细分系统[J].传感器与微系统,2006(08):43-45+48.

QI Yong-yue, ZHAO Mei-rong, LIN Yu-chi. High accuracy system of laser interferometer fringe division[J]. 2006, (8): 43-45+48.
[1]齐永岳,赵美蓉,林玉池.高精度激光干涉条纹细分系统[J].传感器与微系统,2006(08):43-45+48. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.08.015.

QI Yong-yue, ZHAO Mei-rong, LIN Yu-chi. High accuracy system of laser interferometer fringe division[J]. 2006, (8): 43-45+48. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.08.015.

摘要

在激光干涉测量中

通常以相位差为90°的两路信号进行辨向计数和细分

而在这两路信号中普遍存在着非正交误差、不等幅误差和直流电平漂移误差

这些误差的存在严重地影响了测量结果的精度。因此

设计了以C8051F单片机为核心的电路补偿模块

采用以Heydem ann模型为基础的误差修正方法

对以上3种误差进行了动态补偿

进而实现了纳米级精度的位移测量。

Abstract

Usually a couple of quadrature signals are used to discerning direction count and subdivision in laser interferometry system.There are quadrature phase shift error

unequal amplitude error and zero offsets error in the two quadraturt signals.The measuring accuracy is influenced by the three errors.Taking microchip computer C8051F as the core of a compensation mode

the three errors are compensated by Heydemann model.Nano degree of accuracy result displacement measurement is realized.

关键词

Keywords

references

采用正弦微窗光栅的位移传感器 [J]. 王春海,张国雄,郭尚旗,马新辉. 光学学报 . 1999(09)

测控电路[M]. 机械工业出版社 , 张国雄,金篆芷主编, 2001

激光测量技术[M]. 天津大学出版社 , 孙长库,叶声华编著, 2001

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