迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究

孙艳玲

doi:10.13873/j.1000-97872006.07.017

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迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究

更新时间：2025-09-11

- 迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究
- Application of Michelson micro-interference principle in the surface profile measuring
- 传感器与微系统 2006年第7期页码：52-54
- 作者机构：
  
  湖北襄樊学院机械工程系湖北襄樊,441053
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.07.017
  中图分类号： TG84
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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[1]孙艳玲.迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究[J].传感器与微系统,2006(07):52-54.

SUN Yan-ling. Application of Michelson micro-interference principle in the surface profile measuring[J]. 2006, (7): 52-54.
[1]孙艳玲.迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究[J].传感器与微系统,2006(07):52-54. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.07.017.

SUN Yan-ling. Application of Michelson micro-interference principle in the surface profile measuring[J]. 2006, (7): 52-54. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.07.017.

摘要

介绍了一种用于被测件表面形貌的测量分析系统

采用迈克尔逊显微干涉原理实现对表面形貌特征的快速、非接触测量

主要讨论了仪器的测量光路、横向工作台的粗、精两级驱动和信号的四细分处理

经实验证明:测量的相对误差为±0.39%。

Abstract

A measuring-analysing system for surface profile based on the Michelson micro-interference principle is described.This instrument can realize a quick and non-contact measurement with high accuracy.Principle of measuring

4 double frequency processing of photoelectric signal and a set of fine-rough two-grade driving of the horizontal platform are discussed.The experimental

results show that relative error is within±0.39 %.

关键词

Keywords

references

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