基于PSD的高精度激光校准仪的设计

焦国华; 李育林; 胡宝文

doi:10.13873/j.1000-97872006.06.021

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基于PSD的高精度激光校准仪的设计

更新时间：2025-09-11

- 基于PSD的高精度激光校准仪的设计
- Design of the high precision laser alignment system with PSD
- 传感器与微系统 2006年第6期页码：64-66
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院西安光学精密机械研究所
  2. 中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西,西安,710068
  3. 中国科学院研究生院
  4. ,北京,100039
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（60337030）
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.06.021
  中图分类号： TH741.4
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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[1]焦国华,李育林,胡宝文.基于PSD的高精度激光校准仪的设计[J].传感器与微系统,2006(06):64-66.

JIAO Guo-hua ~. Design of the high precision laser alignment system with PSD[J]. 2006, (6): 64-66.
[1]焦国华,李育林,胡宝文.基于PSD的高精度激光校准仪的设计[J].传感器与微系统,2006(06):64-66. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.06.021.

JIAO Guo-hua ~. Design of the high precision laser alignment system with PSD[J]. 2006, (6): 64-66. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.06.021.

摘要

针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法

提出了一种基于位置敏感探测器（PSD）的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上

使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值

有效地提高了系统的精度和稳定性。回转式校准仪的偏移测量范围为±4mm

分辨力为1.5μm、精度为5.5μm。可以广泛用于精确轴系校准和定位。

Abstract

Aim at the traditional manual way of the shaft alignment

a high precise laser alignment system with position sensing detector（PSD） is describes.In the PSD signal process

a new method to calculate the value of the position is adopted by using single chip computer with A/D change and the software arithmetic insteud of substitute the pure circuit method.The accuracy and the stability of system are improved.The range of offset measurement is （±4 mm）;the resolution is 1.5 μm

the accuracy is 5.5 μm.It can be used for shaft aligment and position.

关键词

Keywords

references

二维PSD的结构和性能分析 [J]. 唐九耀,黄梅珍,陈钰清. 功能材料与器件学报 . 2000(03)

激光测量学[M]. 科学出版社 , 金国藩,李景镇主编, 1998

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