MEMS发展应用现状

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MEMS发展应用现状

更新时间：2025-09-11

- MEMS发展应用现状
- Status of development and application of MEMS technology
- 传感器与微系统 2006年第5期页码：7-9
- 作者机构：
  
  北京航空航天大学智能系统与控制工程系,北京,100083
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.05.003
  中图分类号： TH703.8
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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[1]李旭辉.MEMS发展应用现状[J].传感器与微系统,2006(05):7-9.

LI Xu-hui. Status of development and application of MEMS technology[J]. 2006, (5): 7-9.
[1]李旭辉.MEMS发展应用现状[J].传感器与微系统,2006(05):7-9. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.05.003.

LI Xu-hui. Status of development and application of MEMS technology[J]. 2006, (5): 7-9. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.05.003.

微机电系统（MEMS）技术有小尺寸、多样化、微电子等特点

它将信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到了新的高度。MEMS做成的惯性器件（微加速度计和微型陀螺）以及MEMS在小型卫星、海陆空作战平台及信息传递、航空航天、生物医疗和医学等方面有广泛应用。

The characters of microelectro-mechanical system（MEMS） are miniaturization

multiplicity and micro electronics.The minisize

multifunction

intelligentize and dependability of information system are improved.The inertial components

such as micro-acceleration and micro-gyro making use of MEMS technolgies is applied to minitype satellite

army campaign flat

aeronautics and astronautics

biology medical and medicine.

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