一种沟槽结构四臂压电式加速度计的仿真设计

董明; 惠春; 徐爱兰

doi:10.13873/j.1000-97872006.04.018

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一种沟槽结构四臂压电式加速度计的仿真设计

更新时间：2025-09-11

- 一种沟槽结构四臂压电式加速度计的仿真设计
- Design and simulation of four-beam piezoelectric accelerometer with slot substrate
- 传感器与微系统 2006年第4期页码：52-54+57
- 作者机构：
  
  1. 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室
  2. 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  上海市纳米技术专项计划资助项目（0452nm024）
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.04.018
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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[1]董明,惠春,徐爱兰.一种沟槽结构四臂压电式加速度计的仿真设计[J].传感器与微系统,2006(04):52-54+57.

DONG Ming, HUI Chun, XU Ai-lan. Design and simulation of four-beam piezoelectric accelerometer with slot substrate[J]. 2006, (4): 52-54+57.
[1]董明,惠春,徐爱兰.一种沟槽结构四臂压电式加速度计的仿真设计[J].传感器与微系统,2006(04):52-54+57. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.04.018.

DONG Ming, HUI Chun, XU Ai-lan. Design and simulation of four-beam piezoelectric accelerometer with slot substrate[J]. 2006, (4): 52-54+57. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.04.018.

摘要

介绍了现有四臂压电式加速度计的工作原理及ANSYS软件在压电式加速度计方面的应用。将传统的四臂压电式加速度的悬臂梁改用沟槽式结构。并使用ANSYS软件进行仿真分析

发现沟槽结构的加速度计的灵敏度可以高达0.633 5mV/gn

远高于平坦基体表面结构式加速度计的灵敏度（0.281 95mV/gn）。

Abstract

Working principle of four-beam piezoelectric accelerometer and application of ANSYS on piezoelectric accelerometer are addressed.Cantilever of traditional accelerometer is improved by using castellated surface instead of smooth surface.The result of ANSYS simulation of the two configurations shows novel method can greatly amplify the sensitivity of accelerometer to 0.633 5 mV/g

instead of former 0.281 95 mV/g

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