MEMS光声气体传感器光声腔的研究

王建业; 纪新明; 吴飞蝶; 周嘉; 黄宜平

doi:10.13873/j.1000-97872006.02.030

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MEMS光声气体传感器光声腔的研究

更新时间：2025-09-11

- MEMS光声气体传感器光声腔的研究
- Study on PA cells for MEMS PA gas sensors
- 传感器与微系统 2006年第2期页码：86-88
- 作者机构：
  
  1. 复旦大学微电子系ASIC和系统国家重点实验室
  2. 复旦大学微电子系ASIC和系统国家重点实验室,上海,200433
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.02.030
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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[1]王建业,纪新明,吴飞蝶,周嘉,黄宜平.MEMS光声气体传感器光声腔的研究[J].传感器与微系统,2006(02):86-88.

WANG Jian-ye, JI Xin-ming, WU Fei-die, et al. Study on PA cells for MEMS PA gas sensors[J]. 2006, (2): 86-88.
[1]王建业,纪新明,吴飞蝶,周嘉,黄宜平.MEMS光声气体传感器光声腔的研究[J].传感器与微系统,2006(02):86-88. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.02.030.

WANG Jian-ye, JI Xin-ming, WU Fei-die, et al. Study on PA cells for MEMS PA gas sensors[J]. 2006, (2): 86-88. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.02.030.

摘要

光声气体传感器在微量气体探测方面具有许多优势

光声气体传感器的MEMS化可降低成本

提高传感器性能

具有重要的实际意义。依据光声传感器的原理

结合MEMS加工技术

研究制作了一种光声腔

同时

进行了一定的理论模拟

为实现光声气体传感器的MEMS化打下重要基础。

Abstract

Photoacoustic（PA） gas sensors have many advantages in gas tracing.It has great practical significance to fabricate MEMS photoacoustic sensors that can reduce the cost and improve the performances.According to the theory of PA sensors

a PA cell has been developed with MEMS techniques

and its behavior has been simulated as well.The conclusions provide very important bases for realizing MEMS PA gas sensors.

关键词

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