磁悬浮转子微陀螺旋转驱动电路设计

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磁悬浮转子微陀螺旋转驱动电路设计

更新时间：2025-09-11

- 磁悬浮转子微陀螺旋转驱动电路设计
- Design of drive circuit for rotation of micromachined gyroscope with magnetic-suspension rotor
- 传感器与微系统 2006年第2期页码：83-85
- 作者机构：
  
  1. 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室
  2. 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室,上海,200030
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家“863”计划资助项目（2002AA745120）;国家自然科学基金资助项目（60402003）;上海市科委重大专项基金资助项目
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.02.029
  中图分类号： V241.5
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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[1]邵诗逸,黄晓刚,刘武,陈文元.磁悬浮转子微陀螺旋转驱动电路设计[J].传感器与微系统,2006(02):83-85.

SHAO Shi-yi, HUANG Xiao-gang, LIU Wu, et al. Design of drive circuit for rotation of micromachined gyroscope with magnetic-suspension rotor[J]. 2006, (2): 83-85.
[1]邵诗逸,黄晓刚,刘武,陈文元.磁悬浮转子微陀螺旋转驱动电路设计[J].传感器与微系统,2006(02):83-85. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.02.029.

SHAO Shi-yi, HUANG Xiao-gang, LIU Wu, et al. Design of drive circuit for rotation of micromachined gyroscope with magnetic-suspension rotor[J]. 2006, (2): 83-85. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.02.029.

介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的基本原理

重点对旋转的原理进行讨论

给出相应实现方案的指标分析和系统设计

并进行了实验。经过驱动后

微陀螺可以得到3 000 r/m in的旋转效果

并对旋转的转速和力矩进行了分析。

The basic principle of micromachined gyroscope with magnetic-suspension rotor based on MEMS is introduced

especially the principle of rotation is discussed.The analysis of the index in impementing the corresponding scheme and design of the system is given

as well as the experiment is done.After driving

the micromachined gyroscope can reach 3 000 r/min.The results of the rotation speed and torque are analyzed.

磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究 [J]. 吴校生,陈文元,赵小林,张卫平,何淼. 微细加工技术 . 2004(01)

硅微型振动陀螺的设计 [J]. 茅盘松,王修伦,吴绍夫. 传感器技术 . 1995(05)

模拟电子技术基础[M]. 高等教育出版社 , 童诗白主编, 1988

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