厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究

陈建群; 马以武; 唐力强; 王正宏

doi:10.13873/j.1000-97872006.01.012

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厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究

更新时间：2025-09-11

- 厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究
- Study on conductive characteristics of Ru-based resistor for thick-film piezoresistive sensors
- 传感器与微系统 2006年第1期页码：33-35+38
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室
  2. 中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,安徽,合肥,230031
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（60374050）
- DOI：10.13873/j.1000-97872006.01.012
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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[1]陈建群,马以武,唐力强,王正宏.厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究[J].传感器与微系统,2006(01):33-35+38.

CHEN Jian-qun, MA Yi-wu, TANG Li-qiang, et al. Study on conductive characteristics of Ru-based resistor for thick-film piezoresistive sensors[J]. 2006, (1): 33-35+38.
[1]陈建群,马以武,唐力强,王正宏.厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究[J].传感器与微系统,2006(01):33-35+38. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.01.012.

CHEN Jian-qun, MA Yi-wu, TANG Li-qiang, et al. Study on conductive characteristics of Ru-based resistor for thick-film piezoresistive sensors[J]. 2006, (1): 33-35+38. DOI： 10.13873/j.1000-97872006.01.012.

摘要

探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成B i2Ru2O7固相反应温度和时间控制

并进行导电相与玻璃相粒径大小的有效搭配以及纳米掺杂改性

提高厚膜力敏电阻器的灵敏系数

其值可以达到17左右

达到国际先进水平。

Abstract

The sensitive characteristics of the Ru-based resistor for thick-film piezoresistive sensor is summarized and how to increase the gauge factor is discussed.A close correspondence between the gauge factor and the physical and chemical characteristics is experimented.To control the range of dehydration temperature of RuO

to control the temperature and time in the couse of solid compositive reactivity of Bi

to attain the effective mixture of multiple paticle sizes of the conductive phase and the glass phase

and charactertistics with addition can increase the gauge factor of the thick-film resistor.Its value can be about 17

which is up to international advance level.

关键词

Keywords

references

纳米Al 2 O 3 掺杂对厚膜应变电阻性能的影响 [J]. 马以,武宋箭,常慧敏,王英先. 功能材料 . 1998(04)

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