SnO<sub>2</sub>-ZnO复合膜特性研究

doi:10.13873/j.1000-97872005.10.009

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SnO₂-ZnO复合膜特性研究

更新时间：2025-09-11

- SnO₂-ZnO复合膜特性研究
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- 传感器与微系统 2005年第10期页码：9
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.10.009
  中图分类号： TB383
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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SnO₂-ZnO复合膜特性研究[J]. 传感器与微系统, 2005,(10):9.
SnO₂-ZnO复合膜特性研究[J]. 传感器与微系统, 2005,(10):9. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.10.009.

DOI：

摘要

用真空蒸发的方法

在1.33×10-3Pa的真空中

蒸发SnO2

ZnO获得超微粒结构的SnO2-ZnO复合膜。当复合膜中ZnO质量分数为20%时

SnO2-ZnO复合膜对乙醇气体的灵敏度为40

膜的方电阻值也较低

为0.01×103Ω/□。复合膜经热处理后

其电学性能也得到改善

当温度t=600℃时

ZnO质量分数为20%的SnO2-ZnO复合膜热处理后

其膜对乙醇气体有较高的选择性

灵敏度为60。当t=400℃时

对掺有Sb2O5质量分数为450×10-6

ZnO质量分数为20%的SnO2-ZnO复合膜进行热处理

其方电阻仅为0.003×103Ω/□

具有优良的导电性能。

Abstract

关键词

Keywords

references

李朝林.磁控反应溅射SnO_2薄膜的气敏特性研究[J].电子元件与材料,2005(01).

谭乃迪,张思科,邹长军.Sb掺杂SnO_2·X膜的制备及热电性能[J].天津化工,2003(01).

郭玉忠,王剑华,黄瑞安,王贵青.掺杂SnO_2透明导电薄膜电学及光学性能研究[J].无机材料学报,2002(01).

陈汉鸿,叶志镇.ZnO薄膜的掺杂和转型的研究进展[J].半导体情报,2001(02).

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