纸质出版:2005
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CMOS离子敏场效应管SPICE模型[J]. 传感器与微系统, 2005,(10):6.
CMOS离子敏场效应管SPICE模型[J]. 传感器与微系统, 2005,(10):6. DOI: 10.13873/j.1000-97872005.10.006.
DOI:
完全用CMOS工艺实现离子敏场效应型晶体管(ISFET)成为可能
这种ISFET的栅极结构是由绝缘体、多晶硅、金属层叠起来
称之为多层栅结构。从ISFET的传感机理出发
通过分析金属氧化物场效应晶体管(MOSFET)阈值电压的原理
利用通用电路模拟程序(SPICE)建立了这种多层栅结构ISFET的物理模型
并对其静态输入输出特性进行仿真
仿真结果和试验数据基本相符。
牛蒙年,丁辛芳,童勤义.Si_3N_4绝缘栅中两种表面基对pH-ISFET器件敏感特性的影响[J].半导体学报,1996(07).
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