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基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器
更新时间：2025-09-11

    • 基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器

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    • 传感器与微系统   2005年第9期 页码：43-45

    • DOI：10.13873/j.1000-97872005.09.016    

      中图分类号： TP212.2

    • 纸质出版：2005

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  • 基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器[J]. 传感器与微系统, 2005,(9):43-45. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.09.016.

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