介绍了一种实用新型法布里珀罗(F-P)腔滤波器的结构设计和工作原理

它以光纤准直器与光学膜片组成F-P腔和以逆压电效应型微位移器进行腔长调谐。分析了F-P腔滤波器的机械特性及其对扫描特性的影响

通过调整输入波形的形式来修正F-P腔滤波器的扫描畸变

从而达到计算机控制F-P腔滤波器扫描的高精度和可控性。F-P腔滤波器的扫描位移可达到1μm以上

扫描频率高于160Hz

自由谱区达50 nm

扫描线性度为1%。