阵列式脉象传感器的设计与制作

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阵列式脉象传感器的设计与制作

更新时间：2025-09-11

- 阵列式脉象传感器的设计与制作
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- 传感器与微系统 2005年第8期页码：86-88
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97872005.08.031
  中图分类号： TP212.1
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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阵列式脉象传感器的设计与制作[J]. 传感器与微系统, 2005,(8):86-88.
阵列式脉象传感器的设计与制作[J]. 传感器与微系统, 2005,(8):86-88. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.08.031.

DOI：

提出了一种用微机电系统(MEMS)技术应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路。探头采用直接腐蚀出电阻条的技术

具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点。对设计进行了理论计算和优化

并用有限元分析软件ANSYS8.0进行了结构和电耦合场仿真

模拟悬臂梁端点位移对电阻变化的影响。当悬臂梁末端位移变化为50μm时

电阻变化率模拟结果为18.84%

与理论计算值19.67%符合得很好。

金观昌，于淼，鲍乃铿.PVDF多点脉搏波计算机辅助测试系统研究[J].清华大学学报(自然科学版),1999(08).

费兆馥主编.现代中医脉诊学[M].人民卫生出版社,2003.

李科杰主编.新编传感器技术手册[M].国防工业出版社,2002.

孙以材等编著.压力传感器的设计制造与应用[M].冶金工业出版社,2000.

陈心爽,袁耀良编著.材料力学[M].同济大学出版社,1996.

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