设计了新型的微型热式液体流量传感器。它将测热式工作原理和热膜式工作原理结合起来

在精确测量小流量的同时

兼具较大的动态测量范围。该传感器利用MEMS工艺

在两层聚对二甲苯横膈膜中制作出极细的铂电阻丝

通过测量铂电阻丝随温度的变化来获得流量的信息。阐述了传感器的测量原理和微加工工艺流程

并对工作模式进行了流场温度场仿真

对该传感器的进一步优化提供了参考。