纸质出版:2005
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微型柔性剪切应力传感器的制作研究[J]. 传感器与微系统, 2005,(8):80-82+85.
微型柔性剪切应力传感器的制作研究[J]. 传感器与微系统, 2005,(8):80-82+85. DOI: 10.13873/j.1000-97872005.08.029.
DOI:
利用微机电系统(MEMS)技术
制作了一种新型传感器阵列。首先
在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列
然后
利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后
电阻值基本没有变化
柔性传感器在经过弯扭3300次后
传感器本身的柔性材料并没有断。
刘少强,黄惟一,王爱民,宋爱国.机器人触觉传感技术研发的历史现状与趋势[J].机器人,2002(04).
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