运用非线性理论及有限元方法(ANSYS)研究了矩形岛结构的应力和非线性。应力与矩形岛长度之间的关系表明使用矩形岛结构能使输出应力增大

可以提高灵敏度。应力的非线性随矩形岛长度增加而减小

矩形岛长度取接近应力最大值处的值。根据应变分布规律优化设计了传感器力敏电阻应变计。与常用的传感器(方膜传感器)比

设计为10kPa量程的SiC压力传感器显示出灵敏度高、非线性小和工作温度高等特点。