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MEMS高g值加速度计力学分析
更新时间:2025-09-11
    • MEMS高g值加速度计力学分析

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    • 传感器与微系统   2005年第7期 页码:35-37+40
    • DOI:10.13873/j.1000-97872005.07.013    

      中图分类号: TH824.4
    • 纸质出版:2005

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  • MEMS高g值加速度计力学分析[J]. 传感器与微系统, 2005,(7):35-37+40. DOI: 10.13873/j.1000-97872005.07.013.

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