纸质出版:2005
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电化学微细加工监控系统的研究[J]. 传感器与微系统, 2005,(7):7-9.
电化学微细加工监控系统的研究[J]. 传感器与微系统, 2005,(7):7-9. DOI: 10.13873/j.1000-97872005.07.003.
DOI:
在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统
系统采用霍尔电流传感器采集加工电流
并实时准确显示过程数据曲线
根据电流突变快速响应
系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm。和传统电化学加工控制系统相比
具有硬件简单、灵活性好、性价比高、稳定可靠等特点。
王建业,徐家文编著.电解加工原理及应用[M].国防工业出版社,2001.
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