基于激光自动聚焦探测原理研究开发了一种非接触式微位移传感系统。利用光驱内的激光头

根据自动聚焦的原理进行设计

在“S”曲线法的基础上又提出了一种新的测量方法——自动搜寻法。将这2种方法相结合

既可进行大量程的测量

也可进行较小量程内高分辨力的测量。大量程(1.8mm)内的分辨力为2μm

较小量程(200μm)内的分辨力可达0.2μm。试验表明该系统具有良好的线性度、重复性和动态响应特性

可用来测量复杂物体表面的面形。