用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纯SnO2和掺稀土Nd的SnO2薄膜

在500℃氧气气氛条件下进行45min热处理

获得良好的纳米SnO2薄膜和掺稀土Nd的SnO2薄膜。结果显示掺Nd和热处理使纳米SnO2薄膜的结构、导电性能得到一定的改善。掺Nd5%的SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善

其中

对丁烷的选择性、灵敏度最好

在体积分数为7.2×10-3时

灵敏度可达到340

但对乙醇、丙酮气体的敏感性较差。