介绍了一种CMOS(互补MOS)集成风速风向传感器

使用恒温差(CTD)控制模式将芯片加热

使其中间加热区域的温度高于周围环境(风)温度一定值。该传感器在有风吹过它的表面时能同时测量风速和风向。采用4个串联的热堆测量芯片中心区域的平均温度

这种测温的方法简单、新颖。在简单阐述CMOS硅热流量传感器的工作原理和结构之后

主要介绍驱动和信号读取电路。经过风洞测试

传感器能够测量风速0～23m/s

具有良好的线性度和灵敏度

同时

传感器360°内方向敏感。