基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究

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基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究

更新时间：2025-09-11

- 基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究
- Study of ethanol vapour sensing film based on thin-film technology
- 传感器与微系统 2005年第5期页码：10-12
- 作者机构：
  
  1. 华中科技大学机械科学与工程学院
  2. 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家863计划资助项目（2004AA404221）
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.05.004
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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[1]王聪,史铁林,李晓平.基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究[J].传感器技术,2005(05):10-12.

WANG Cong, SHI Tie lin, LI Xiao ping. Study of ethanol vapour sensing film based on thin-film technology[J]. 2005, (5): 10-12.
[1]王聪,史铁林,李晓平.基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究[J].传感器技术,2005(05):10-12. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.05.004.

WANG Cong, SHI Tie lin, LI Xiao ping. Study of ethanol vapour sensing film based on thin-film technology[J]. 2005, (5): 10-12. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.05.004.

ZnO2

SnO2

Fe2O3等基底材料可以用来制作半导体型乙醇气体传感器中的气敏膜。在基底中掺杂Pt

TiO2等物质可以获得很高的气体检测灵敏度和很好的选择性。利用电子枪蒸发薄膜工艺来制作乙醇气体敏感膜

可以取得很好的效果。与通常使用的厚膜工艺相比

薄膜工艺与MEMS工艺兼容

更适合制作微小器件。

The semiconductor material such as ZnO 2

SnO 2

Fe 2O 3 may be used to make sensitive film of ethanol gas sensor.Higher sensitivity and better selectivity can be gained by adding additives like Pt

TiO 2.The electric gun method is used to make the sensitive thin film and get good result.Compared to the traditional thick film technolgy

the thin film teohnolgy is more compatible with the MEMS technics to make nano size devices.

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