纸质出版:2005
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直流偏置对PZT微传感器的谐振频率的影响[J]. 传感器与微系统, 2005,(4):26-28.
直流偏置对PZT微传感器的谐振频率的影响[J]. 传感器与微系统, 2005,(4):26-28. DOI: 10.13873/j.1000-97872005.04.010.
DOI:
在直流偏置电压对PZT压电微悬臂梁谐振频率的影响研究中
建立了理论方程
并通过激光干涉测试实验对所建方程进行了验证。理论方程和实验均表明:直流偏置电压对PZT微悬臂梁的谐振基频的影响是二阶函数。在直流偏置电场小于1×107 V/m时
直流偏置电压和谐振基频存在线性变化区。此结论可以用于改善谐振式PZT微悬臂梁传感器的信号检测系统
即利用扫描直流偏置电压取代频谱分析。
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