用多孔硅作为湿敏元件

室温下在20Hz

1

00kHz频率范围

湿度从11%RH升至95%RH进行实验。结果表明:不同测试频率对多孔硅湿敏元件有较大影响

低频范围测量灵敏度高;高频范围效果不佳。讨论了频率影响的机理

其理论分析和实验结果一致。