微结构气体传感器的优化设计

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微结构气体传感器的优化设计

更新时间：2025-09-11

- 微结构气体传感器的优化设计
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- 传感器与微系统 2005年第3期页码：84-85+88
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(60104006);吉林省科技厅资助项目(20030322)
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.03.031
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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微结构气体传感器的优化设计[J]. 传感器与微系统, 2005,(3):84-85+88.
微结构气体传感器的优化设计[J]. 传感器与微系统, 2005,(3):84-85+88. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.03.031.

DOI：

利用SiO2相对于SiNx有更低的热导率

作为膜式微气体传感器的热绝缘和电绝缘层

而单晶Si适合通过各向异性腐蚀形成倒杯状结构来支撑SiO2膜。将膜式微气体传感器中的加热器和信号电极设计在一个平面上

以减小工艺复杂度

获得较高的加热效率。利用有限元分析工具ANSYS分析比较加热器和信号电极在不同宽度与间距时的温度分布。当设定加热器宽度为50μm

信号电极宽度50μm

加热器和信号电极间距为25μm

微气体传感器将获得更低的功耗和比较均匀的中心温度分布

有利于传感器整体性能的提高。

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